日本のロボット研究の歩みHistory of Robotics Research and Development of Japan1997Manipulation〈マニピュレーション〉パルス駆動誘導電荷形静電フィルムアクチュエータ

静電力で動作する薄形・軽量のフィルムアクチュエータを開発した．本アクチュエータは３相の帯状電極が埋め込まれた固定子と，微弱な導電性を有する材料が塗布された移動子の２枚のフィルムからなる．電極にパルス電圧を加えることにより，移動子上に電荷を誘導して駆動力を発生し，移動子を横に動かす．電極ピッチ240μｍ，全体の厚さ120μｍ，質量0.35gの試作アクチュエータを電圧800Vで駆動したところ，0.16Nの力と1.6mWのパワーが得られた．本アクチュエータは，表示素子，薄葉材料の搬送装置，大出力の積層形アクチュエータ（静電人工筋）など，広い分野で利用されることが期待される．

第13回（1999年）日本ロボット学会論文賞受賞