日本のロボット研究の歩みHistory of Robotics Research and Development of Japan1976Business〈企業の研究開発〉トランジスタの自動組立システム

企業の研究開発

江尻正員	日立製作所　中央研究所
宮武孝文	日立製作所　中央研究所
柏岡誠治	日立製作所　中央研究所
目瀬道弘	日立製作所　中央研究所
嶋好博	日立製作所　中央研究所
酒匂裕	日立製作所　中央研究所
坂本雄三郎	日立製作所　半導体事業部
山崎勇	日立製作所　半導体事業部
浜田利満	日立製作所　生産技術研究所

この論文は、ロボット研究開発アーカイブ「日本のロボット研究開発の歩み」掲載論文です。

視覚を持った自動機械の先駆けとして，1973年，計算機制御による世界最初のトランジスタ自動組立システム（写真１）を構築し，稼動させた。これは，0.4mm角～0.6mm角程度の微小なトランジスタチップに対し，その表面パターン画像から電極位置を自動認識し，そこと外部リード端子との間を金の細線によって自動配線するものである（写真２）。その特徴は

２次元局部メモリを用いた高速の実時間型パターンマッチング技術（図1）
複合型部分パターンマッチング法による高信頼度の位置認識技術（図1）
1台の計算機で計50台の組立機を群制御する計算機制御技術

にある。視覚を用いた世界最初の本格的な自動機として実用されるとともに，IC，LSIの組立へも用途が拡大された。この部分パターンマッチングによる位置認識技術は，米国への技術輸出や装置メーカーへの技術供与を通じて瞬く間に業界標準方式となり，半導体生産の中核技術として産業の発展に大きく貢献した。現在も，世界中の半導体産業で，組立の基本技術として広く実用されている。